目前，该系列机种，已广泛用于硅、锗、石英晶体、玻璃、陶瓷、兰宝石、砷化镓、铁氧体、铌酸锂等非金属脆薄片体，及阀板、阀片、摩擦片、刚性密封件、活塞环等金属见的加工，并取得优良效果。
| 研磨盘尺寸 | Φ640×Φ235×30mm | |
| 游星轮主要参数 | 英 制 | Z108 DP=12 α=20° |
| 公 制 | Z114 M2 α=20° | |
| 游星轮数量 | 5 | |
| 升降部位 | 下研盘 | |
| 升降动力 | 气动 | |
| 研磨盘转速（r/min） | 0~60 | |
| 主电机功率（kw） | 4kW | |
| 砂泵电机（kw） | 0.125kW | |
| 电源 | 380V 3Φ 50HZ | |
| 机器尺寸（mm） | 1350×960×2450 | |
| 机器重量（kg） | 1925kg | |
| 左右主轴跳动 | ±0.03毫米 | |
| 加 工 范 围 及 精 度 |
最大工件直径 | 200mm |
| 最小工件厚度 | 0.15mm | |
| 最大工件厚度 | 20mm | |
| 平行度、平面度 | ≤0.003mm | |
| 尺寸精度 | 0.003mm | |
| 表面粗糙度 | ≤Ra0.15um | |
